2010/08/20
東海大学殿との共同開発が科学技術振興機構の「先端計測プログラム」に採択されました。
「浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発」
進藤 春雄氏（東海大学 情報理工学部 教授）
柳澤 道彦 （株式会社ランドマークテクノロジー 技術部長）
開発概要：
集積回路（ＬＳＩ）プロセスの中心技術である半導体製造プラズマ装置、ロケットスラスタープラズマさらには生物生体プロセスプラズマなど広範な応用プラズマの分析技術として、電子放出可能な浮遊型プローブ法を提案し、その原理特許を取得済みの技術をもとに、プラズマ電子エネルギー分析、電子・イオン密度解析、プラズマポテンシャル分布などの総合的分析を可能とするプラズマ分析装置プロトタイプの開発を目指します。
参照：科学技術振興機構報 第751号
『産学イノベーション加速事業【先端計測分析技術・機器開発】における平成２２年度新規開発課題の決定について』
http://www.jst.go.jp/pr/info/info751/index.html
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